簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "氮化鎵".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="鎂摻雜氮化鎵"


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    反應式濺鍍法製備氮化鎵為主之III族氮化物薄膜及其鎂摻雜之特性探討
    • 材料科學與工程系 /102/ 博士
    • 研究生: 李成哲 指導教授: 郭東昊
    • 本研究成功的以RF反應式濺鍍法來製備III族氮化物薄膜,如GaN與InGaN等薄膜,濺鍍所需要的靶材則是將不同比例的金屬In、Ga與GaN陶瓷粉末混合後熱壓而成的陶金靶,靶材中的Ga含量需小於GaN…
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